江苏海珐机械制造有限公司

半导体晶圆厂扩张，正推动洗涤器冷却液循环泵进入新增长周期。IndexBox 2026年9月报告指出，全球Scrubber Coolant Circulation Pumps市场受300mm晶圆厂建设、先进制程扩产及环保合规升级推动，2026—2035年基准年复合增长率约8.5%，亚太仍是最大需求区域。SEMI预计，全球300mm晶圆厂设备支出2026年增至1330亿美元，2027年达到1510亿美元。

晶圆制造中的Etching、CVD、Wet Clean会产生HF、NH3等腐蚀性废气，Point-of-Use Abatement、Wet Scrubber、PCW、Closed-loop Cooling正成为热门专业术语，冷却与洗涤回路更重视耐腐蚀、低泄漏、变频控制与预测性维护。

江苏海珐机械制造有限公司（www.jslgpump.com 610 OH2、OH3、BB1-BB5、VS系列泵，并结合介质、温度、颗粒和NPSH条件进行材料及水力匹配。随着Fab Utility、Abatement System、Digital Monitoring、Predictive Maintenance等长尾需求升温，节能、低维护和快速交付将成为晶圆厂辅助系统泵选型的重要方向。

Source：IndexBox《Scrubber Coolant Circulation Pumps Market to Accelerate on Semiconductor Fab Expansion, Reaching 2035 Growth》。其中，IndexBox最新报告给出的基准情景是 2026—2035年约8.5% CAGR，2035年市场指数约210（2025=100）；报告还指出半导体及精密制造约占该类泵需求的65%，亚太地区约占55%。

Advanced Node Fab、300mm Fab Expansion、Point-of-Use Abatement、Wet Scrubber、Process Cooling Water（PCW）、Fab Utility、High-Purity Chemical Circulation、Zero Liquid Discharge（ZLD）、Closed-loop Water Recycling、Digital Monitoring、Predictive Maintenance、Low TCO Pump、Semiconductor Exhaust Gas Treatment。

中文文献

1. IndexBox，《洗涤器冷却液循环泵市场将随半导体晶圆厂扩张加速，2035年增长可期》，2026-09-21。

2. SEMI，《2026及2027年全球300mm晶圆厂设备投资预计实现两位数增长》，2026-04-01。

3. SEMI / DAS Environmental Experts，《SALIX Wet Scrubber Portfolio for Semiconductor Manufacturing in China》，2026-03-24。其应用覆盖单片清洗工艺产生的HF、氨及IPA等废气。

4. SEMICON China 2026，GST半导体Scrubber、Chiller及浸没式冷却技术资料。

English References

1. IndexBox, Scrubber Coolant Circulation Pumps Market to Accelerate on Semiconductor Fab Expansion, Reaching 2035 Growth, Sep. 21, 2026.

2. SEMI, SEMI Projects Double-Digit Growth in Global 300mm Fab Equipment Spending for 2026 and 2027, Apr. 1, 2026.

3. DAS Environmental Experts / SEMI, Flexible SALIX Wet Scrubber Portfolio for Semiconductor Manufacturing in China, Mar. 24, 2026.

4. Veolia Water Technologies, Why Ultrapure Water Is Critical for Microelectronics Manufacturing, Mar. 26, 2026.

5. Veolia Water Technologies, €343 Million in Microelectronics Water Technology Bookings, Jul. 30, 2026，涉及美国、新加坡半导体项目的超纯水、废水回用和ZLD。